---

/PREP7
/UNITS,USER,1E-6,,,,,,,
ET,1,SOLID185
MP,EX,1,1.3E11
MP,PRXY,1,0.25

! Основной объём чипа
BLOCK,0,1000,0,1500,0,500

! Ключевые точки выемки (нижнее основание a=800, на Z=0)
K,9,100,350,0
K,10,900,350,0
K,11,900,1150,0
K,12,100,1150,0

! Верхнее основание выемки (на глубине d=460, сторона ~149 мкм)
K,13,425.5,675.5,460
K,14,574.5,675.5,460
K,15,574.5,824.5,460
K,16,425.5,824.5,460

! Строим объём-выемку (усечённая пирамида) по 8 точкам
V,9,10,11,12,13,14,15,16

! Вычитаем выемку из чипа
VSBV,1,2

! Сетка (топология сложная — ставим свободную тетраэдральную)
MSHAPE,1,3D
MSHKEY,0
VMESH,ALL